據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，上市微機電系統(tǒng)公司有：
至純科技（603690）：
公司主營業(yè)務(wù)是為客戶在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中提供超純系統(tǒng)（無菌、無塵、無污染環(huán)境），主要產(chǎn)品是一些生產(chǎn)設(shè)備。
在近5個交易日中，至純科技有3天上漲，期間整體上漲12.3%。和5個交易日前相比，至純科技的市值上漲了15.77億元，上漲了12.3%。
航天電器（002025）：
該集團以航天產(chǎn)品為三大主業(yè)。
在近5個交易日中，航天電器有2天上漲，期間整體上漲0.53%。和5個交易日前相比，航天電器的市值上漲了1.18億元，上漲了0.53%。
北方華創(chuàng)（002371）：
公司正面向新能源汽車和儲能行業(yè)，專注于研發(fā)和生產(chǎn)鋰離子電池極片制造用的漿料制備系統(tǒng)、真空攪拌機、涂布機、強力軋膜機、高速分切機等裝備，迄今已為全國主要的鋰離子電池研究院所、生產(chǎn)企業(yè)提供了大量的電池制造裝備，并將產(chǎn)品遠銷到日本、德國、俄羅斯等國家，在行業(yè)累計擁有境內(nèi)、外客戶二百余家。
近5個交易日股價下跌3.4%，最高價為473.66元，總市值下跌了107.89億。
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